MEMS（微机电系统）是通过微纳加工技术，将机械结构、电路、传感器等集成于微米/纳米级硅基芯片的微型功能系统，可感知物理变化并执行机械动作，被称为“硅基机器人工厂”。当前最大应用为汽车（如激光雷达用微镜），机器人、OCS（算力相关场景）正成为新驱动，推动行业爆

微机电系统 mems 概念股 军备 mems微机电系统 2025-09-20 05:39  2